管道泄漏泄漏这个经常出现，直接会导致真空度降低、排气时间延长从而影响产品的质量。通过保压测漏法来检测泄漏是常见的方法。而查找漏点可以通过正压法或者真空检测仪就可以。
供电系统是保证真空泵正常运行的前提，因此定期巡检供电系统必不可少。日常检查连接是否松动、线路是否过热或者腐蚀以及烧蚀等情况。检查过载保护、短路保护以及地线检查。一个稳定的供电系统是真空泵可靠运行关键。
定期对真空泵进行巡检，其主要巡检内容包括泄漏、老化、采集分析温度、压力、电流以及设备振动数据等。对于老化部件需要定期进行更换，提高效率和稳定性。
后处理，有的工艺会产生残留物堵塞后处理，堵塞不仅会导致真空泵排气压力高，还会导致能耗增加最终导致设备故障停机。泄漏会引起安全风险和环境污染。因此后处理也要定期进行维护。
冷却系统维护也是有必要的，站房通风、散热器、冷却水系统这些都属于冷却系统。如果真空一直在高温状态下运行会降低设备运行效率、故障率增加等。通过采集数据进行分析来评估冷却系统性能。
定期对真空泵进行维护是保证设备安全、稳定、高效运行必不可少的。通过专业工具或诊断设备进行检查，一旦有异常情况就需要进行维护保养。
